Kur bëhet fjalë për kompaninë holandeze ASML, të gjithë e dinë që ata janë furnizuesit e vetëm të makinerive litografike EUV në botë, dhe prodhimi i 7nm dhe më poshtë proceseve varet nga pajisjet e tyre. Sidoqoftë, ASML nuk është thjesht një makinë e fuqishme litografie. Sot ata njoftuan një produkt tjetër të ri - makinën e inspektimit me shumë rreze HMI të gjeneratës së parë, HMI eScan1000, e cila është e përshtatshme për procese 5nm dhe më të përparuara, duke bërë që kapaciteti të rritet me 600%.
Me përmirësimin e vazhdueshëm të teknologjisë së procesit, prodhimi i wafers po bëhet gjithnjë e më komplekse, gjë që gjithashtu do të shkaktojë më shumë gabime në meshë. HMI eScan1000 është një sistem zbulimi i bazuar në teknologjinë HMI me shumë rreze, dhe ka gjithashtu nënsisteme komplekse fotografelektrike brenda. Mund të gjenerojë dhe kontrollojë rreze të shumta elektroni, pastaj të analizojë cilësinë e shiritit bazuar në imazhin e rrezeve elektronike të reflektuar, dhe ka një platformë me shpejtësi të lartë për të kontrolluar numrin e wafers të testuar, dhe një sistem informatik për të përpunuar të dhënat e rrezeve të elektroneve.
Ta themi thjesht, makina HMI eScan1000 e zhvilluar nga ASML është një sistem për të verifikuar cilësinë e wafers të prodhuar nga procese të përparuara. Sa më i përparuar procesi, aq më i rëndësishëm është sistemi i inspektimit. Saktësia dhe rezultati i inspektimit përcaktojnë efikasitetin e prodhimit.
Përparimi i HMI eScan1000 i ASML është se ai mund të gjenerojë dhe kontrollojë njëkohësisht nëntë rreze elektronike, kështu që kapaciteti i prodhimit është rritur për 600%, gjë që mund të zvogëlojë shumë kohën e përdorur për analizën e cilësisë së meshës.
Aktualisht, HMI eScan1000 mund të përdoret për testimin e meshës së proceseve të përparuara prej 5nm dhe më poshtë. Ajo u është dorëzuar klientëve për testim dhe verifikim. Në të ardhmen, ASML do të nisë edhe më shumë pajisje për provë rrezesh për të përmbushur kërkesat e klientëve për procese të përparuara.